全自动探针台|射频测试专用自动测试探针台TS2500-RF

 

MPI TS2500-RF 射频测试探针台

 

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用:


? 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
? 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测量产可靠性
? 专为 24 / 7 稳定可靠的量产测试而设计


工效学设计及弹性选配:


? 简易便利的前门单晶圆上片设计
? 大面积工作台设计,可乘载至多 12x DC 或4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具
? 双晶圆拾取器和内建的晶圆预对准功能,有效提升产出
? 另有多种晶圆载物台和配件可做选择
? 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
? 另有向上影像镜头可选配,协助探针 - 待测物对准
? 可选配薄晶圆处理选项


适用晶圆尺寸:100,150,200mm(4,6,8in)
晶圆卡匣标准:Semi E1
晶圆卡匣容量:2
第一片晶圆上片时间:50Sec
晶圆交换时间:20Sec
薄晶圆换片:智慧辨识晶圆拾取高度 
适用晶圆厚度:一般晶圆和至薄50μm的薄晶圆
晶圆预对准:光学扫描,支持晶圆缺口和平边辨识
晶圆ID读取器(选配):影像辨识,可选配上方或下方镜头
卡匣槽位辨识:雷射辨识



2500RF尺寸图


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