手动探针台|MPI 6英寸高功率探针台 TS150-HP

 

设备简介:

MPI高功率器件表征系统专为晶圆上高功率器件测试而设计。MPI TS150-HP和TS200-HP探头系统提供完整的150 mm和200 mm晶圆解决方案。它们设计用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。


产品特点:


单机多应用设计

? 适用于高功率器件量测和其他多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性。
      ?(WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS)

工效学与安全设计

? 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计

? 坚固且可乘载多达 10 支高电压 HV 或 4 支大电流HC 微定位器的工作台

? 电磁屏蔽箱和工作台电弧屏蔽 ArcShieldTM 设计,为高电压量测提供安全防护

? 三段式工作台快升把手设计 (contact - separation- loading),实现高重现性

弹性选配与升级性

? 另有多种仪器连接选项和晶圆载物台可做升级,亦有诸多配件如微定位器、光学显微镜等可搭载,以完全支援您的应用需求。


机台结构:


QQ图片20191030160737.png


5x社区 5x社区在线视频