手动探针台|MPI 6英寸太赫兹探针台TS150-THz


随着新兴太赫兹应用的大量扩展,如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,安全和监视,医疗和保健设备以及短程汽车雷达,对精确,可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THz

MPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的,经济高效的手动探头系统,专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定,具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用,例如高达110 GHz的宽带,高达1.1THz的带状解决方案,负载牵引和RF噪声。

单机多应用设计

无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器

全新设计的扩展器、调谐器集成,可实现最大的动态测量7afce7762cdfa563ba6b6ec4de5b0d4e.jpg

最大的机械稳定性和重复性,实现方便和安全的操作


人体工程学设计

方便单手操作的,快速移动气浮式样品台设计

坚固且空间充足的工作台,可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器

三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading),实现接触、分离和加载的高性能


弹性选配与升级

可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器

专用光学元件,用于缩短电缆和波导的长度,实现最大的测量方向性

各种夹头选件,印刷电路板和各种附件,如DC / RF /毫米波定位器


      直流、射频和THZ微定位器的探针板设计

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MPI探针悬停控制TM配有悬停高度(50、100或150μm), 便于探针与Pad的对准。

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世界上独一无二,最精确的接触/超大行程控制, 精度为1um,便于测量的重复性和精确性

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无缝集成任何扩频器,以在200毫米晶片上获得 最佳测量方向性


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陶瓷辅助夹头


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用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头



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机台结构:


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